静电是时时刻刻到处存在的,但是在二十世纪40-50年代很少有静电问题,因为那是是晶体三极管和二极管,而所产生静电也不如现在普遍存在。
在60年代,随着对静电非常敏感的MOS器件的出现,静电问题也出现了,到70年代静电问题越来越严重。80-90年代,随着集成电路的密度越来越大,一方面其二氧化硅膜的厚度越来越薄(微米-纳米),其承受的静电电压越来越低,另一方面,产生和积累静电的材料如塑料,橡胶等大量使用,使得静电越来越普遍存在,仅美国电子工业每年因静电造成的损失达几百亿美元,因此静电防护已成为电子工业的隐形杀手。是电子工业普遍存在的“硬病毒”,在某个时刻内外因条件具备时就要发作。根据国内静电危害问题与防范对策劳工安全卫生研究所于85年度规划「制造业静电危害现况调查」针对制造业中静电危害性高之十大业别(造纸、纺织、印刷、化学、化工、石化、橡胶、塑料成型(涂装)、电力电子、食品)寄发问卷调查,获致制造业静电危害现况结论如下:
(一)、造纸业静电危害多发生于滚轮复卷与产品分装时,导致人员电机、产品瑕疵等;
(二)、纺织业静电危害以成品高速传送累积静电导致人员电击、产品不佳为多,亦曾因此发生火灾爆炸事件;
(三)、印刷业、塑料业、与橡胶业等之静电危害类型雷同,多发生在成品卷送作业中引起的高静电,导致人员电击与产品不佳,静电亦会引燃油墨或溶剂而导致火灾爆炸事件;
(四)、石化业之静电危害多发生于流体传送、搅拌、粉体研磨、入料、筛选等作业,虽然危害事件发生频率较低,但若发生危害事故则灾害后果大多甚严重;
(五)、电力电子业之静电危害以静电造成产品瑕疵与损坏为主,食品业之静电危害以粉体作业与酒精槽储运作业为主。
针对制程中的静电危害事故采行防范对策,应先了解今年危害发生原理,熟悉危害发展过程中静电产生及散逸的因素,以及静电放电类型与危害,能够辨认静电危害行程的没意见短,然后能针对危害原因运用静电量测仪器,进行制程中物质及环境量测,掌握制程中静电物理量,评估具潜在之静电危害因素,后续研拟与采行适宜之几年危害防制方法,同时储蓄量测与比对施行紧你单危害防护措施的效果,可以有效降低潜在的危害,提高生产过程中的作业安全及人员的安全。
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